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扫描电子显微镜的扫描电路研制
涂晶晶,忻云龙,谢东珠
上海师范大学数理学院
摘要:
报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路,其扫描速率可达到每秒 10 6 像素,讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响,提出了一种矫正扫描线圈电感所引起的电流非线性的方法,应用到扫描电子显微镜 DXP - 10 中,得到了较好的 扫描图像.
关键词:  电子显微镜  模拟电路  噪声抑制
DOI:
分类号:
基金项目:其它基金
Abstract:
Key words: